智能真空計(jì)SC-10簡(jiǎn)述
SC-10智能真空計(jì)是我們開發(fā)的一種全新的方法,它是一種自動(dòng)真空計(jì),可以同時(shí)測(cè)量殘余氣體成分和全壓真空度。
全壓真空是從大氣壓到10-7Pa的超高真空,當(dāng)總壓達(dá)到50Pa左右時(shí),氣體成分的分壓自動(dòng)啟動(dòng),可以從10-5Pa左右測(cè)量到10- 6帕。
可以測(cè)量氣體成分并檢查粗壓區(qū)域的泄漏,這是傳統(tǒng)氣體分析儀無法做到的。
智能真空計(jì)SC-10原理
頻譜模式屏幕
SC-10 通過測(cè)量總壓力的冷陰極計(jì)的放電顏色來區(qū)分氣體成分。利用光的顏色(波長(zhǎng))根據(jù)氣體成分而不同的事實(shí)來測(cè)量成分。在 SC-10 的光譜模式屏幕上也可以看到氣體成分的波長(zhǎng)。
由于氣體成分測(cè)量單元設(shè)置在大氣壓側(cè),因此不會(huì)被真空中的氣體污染,可以進(jìn)行不受污垢影響的測(cè)量。此外,冷陰極規(guī)沒有燈絲,因此可用于堅(jiān)固耐用的應(yīng)用。
智能真空計(jì)SC-10操作使用
由于智能真空計(jì)可以測(cè)量殘余氣體的成分,因此可以快速了解真空裝置的良好狀況,例如排氣中途的泄漏和水蒸氣脫氣等。下兩圖是同一裝置的不同排氣數(shù)據(jù),但圖一為正常排氣,以水蒸氣為主要成分,確定總壓真空度,而圖二中,氮?dú)鉃樾孤┧???梢钥闯?,從開始下降排氣約 5 分鐘后停止,如果繼續(xù)排氣,則在約 10 分鐘后氮?dú)饬孔兊帽人魵舛?,總壓力真空停止。通過使用智能真空計(jì),您可以快速找出僅通過監(jiān)測(cè)全壓真空度無法理解的排氣異常及其原因。
圖1
圖 2
您不僅可以使用智能真空計(jì)找到泄漏點(diǎn),還可以噴灑氦氣或氬氣來查找泄漏點(diǎn)。圖 3 顯示了智能真空計(jì)在泄漏點(diǎn)噴氬時(shí)的數(shù)據(jù),但可以看出,由于氬氣增加和氮?dú)鉁p少,此處存在泄漏。停止泄漏后,如圖4所示,氮?dú)夂脱鯕鉁p少,水蒸氣成為主要成分,成為典型真空裝置的殘余氣體成分。
圖 3
圖 4
只需打開它并將其連接到您的PC,無需其他操作。SC-10內(nèi)置的全量程真空計(jì)測(cè)量從大氣壓到超高真空的總壓力,當(dāng)總壓力達(dá)到約50Pa時(shí),自動(dòng)開始?xì)埩魵怏w成分的測(cè)量(分壓測(cè)量)。
不用擔(dān)心,當(dāng)您恢復(fù)到大氣壓時(shí),氣體成分測(cè)量會(huì)自動(dòng)關(guān)閉。