圓晶表面清潔度檢測的重要性
晶圓表面的潔凈度會影響后續(xù)半導(dǎo)體工藝及產(chǎn)品的合格率,早期曾有文獻(xiàn)指出,在制造過程中,因未能有效去除晶圓表面的污染而產(chǎn)生的耗損,在所有產(chǎn)額損失中,可能占達(dá) 50% 以上的比例。故上海路陽儀器有限公司根據(jù)半導(dǎo)體行業(yè)客戶需求,研發(fā)出一款FY-18系列臺式表面檢查燈,三種光源可供選擇,適用于產(chǎn)品表面劃痕、污垢、異物的目視檢查。FY-18系列裝有勻光板,不刺眼,無級調(diào)光設(shè)計,客戶可以調(diào)整到自己理想的光照度。采用無風(fēng)扇設(shè)計,可在潔凈室中使用,50cm靈活的柔性臂,可任意角度照射。
采用LED光源,非常適合目視檢查產(chǎn)品表面的劃痕、污垢、異物等。
更輕松地對半導(dǎo)體零件、顯示器、樹脂產(chǎn)品和精密零件進(jìn)行目視檢查。
通過與二向色濾光片相結(jié)合,變得更容易觀察,并且對眼睛溫和,減輕了工人的壓力。
配備18W大功率LED
瞬間點(diǎn)亮,無需預(yù)熱
具有調(diào)光功能
對被照射物體無熱影響
由于無風(fēng)扇,因此即使在潔凈室中也可以使用。
可通過柔性臂進(jìn)行微調(diào)
FY-18N(白色)透明濾光片
安裝綠色濾光片
標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
清除
擴(kuò)散
可選(單獨(dú)出售)
可在 500 至 600 nm 波長下進(jìn)行檢測。
綠色的
黃色的
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