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圓晶表面清潔度檢測的重要性

  • 發(fā)布日期:2023-11-09      瀏覽次數(shù):571
    • 圓晶表面清潔度檢測的重要性

      晶圓表面的潔凈度會影響后續(xù)半導(dǎo)體工藝及產(chǎn)品的合格率,早期曾有文獻(xiàn)指出,在制造過程中,因未能有效去除晶圓表面的污染而產(chǎn)生的耗損,在所有產(chǎn)額損失中,可能占達(dá) 50% 以上的比例。故上海路陽儀器有限公司根據(jù)半導(dǎo)體行業(yè)客戶需求,研發(fā)出一款FY-18系列臺式表面檢查燈,三種光源可供選擇,適用于產(chǎn)品表面劃痕、污垢、異物的目視檢查。FY-18系列裝有勻光板,不刺眼,無級調(diào)光設(shè)計,客戶可以調(diào)整到自己理想的光照度。采用無風(fēng)扇設(shè)計,可在潔凈室中使用,50cm靈活的柔性臂,可任意角度照射。

      FY-18系列(FY-100R的后繼型號)

      采用LED光源,非常適合目視檢查產(chǎn)品表面的劃痕、污垢、異物等。
      更輕松地對半導(dǎo)體零件、顯示器、樹脂產(chǎn)品和精密零件進(jìn)行目視檢查。
      通過與二向色濾光片相結(jié)合,變得更容易觀察,并且對眼睛溫和,減輕了工人的壓力。

      特征
      FY系列特征圖
      • 配備18W大功率LED

      • 瞬間點(diǎn)亮,無需預(yù)熱

      • 具有調(diào)光功能

      • 對被照射物體無熱影響

      • 由于無風(fēng)扇,因此即使在潔凈室中也可以使用。

      • 可通過柔性臂進(jìn)行微調(diào)

      光譜分布圖

      FY-18N(白色)透明濾光片

      FY-18N(透明白)透明濾光片

      安裝綠色濾光片

      安裝綠色濾光片
      篩選

      標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備

      過濾清除

      清除

      過濾擴(kuò)散

      擴(kuò)散

      可選(單獨(dú)出售)
      可在 500 至 600 nm 波長下進(jìn)行檢測。

      過濾綠色

      綠色的

      過濾黃色

      黃色的

      產(chǎn)品規(guī)格
      產(chǎn)品規(guī)格


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