excimer紫外線172nm準分子燈的特性及應用

發(fā)布日期：2024-01-10      瀏覽次數(shù)：957

excimer紫外線172nm準分子燈的特性及應用

在工業(yè)應用中，常用的準分子波長是 172 nm。其 7.23 eV 的能量足以直接裂解有機分子的所有主要鍵，但碳和氧 (C=O) 之間的鍵和一些無機氧化物之間的鍵除外。這使其成為表面改性、光清洗、光固化的選擇。



適用于 6 英寸晶圓和掩模的長壽命緊湊型準分子 VUV 172nm 光源

風冷緊湊型準分子燈單元，燈長160mm，該單元專為VUV 172波長的照射而設計，系統(tǒng)結構簡單，具有低成本、高性能的特點，準分子UV燈可實現(xiàn)低溫精密處理。

緊湊型準分子UV172nm UV光源是兼容6"晶圓和掩模基板的燈。其特點是簡單緊湊、高可靠性風冷型、無需更換燈管的長壽命準分子燈。*1電源為AC100V。




特點 

長壽命風冷準分子燈。無需更換燈管

　　　　本來，準分子紫外線燈的結構是燈泡內部沒有電極，因此理論上它們被認為是長壽命燈，在國外有時被稱為準分子燈。然而，如今追求高照度的準分子燈由于燈管材料更輕、更薄、燈管溫度更高以及紫外線能量導致的玻璃變形，往往導致燈管壽命較短，從而導致成本較高。

根據(jù)多年的現(xiàn)場經(jīng)驗，Excimer Co., Ltd.的風冷緊湊型準分子燈需要定期更換外部電極、高壓電纜和高壓部件，但不需要更換內部電極。燈管本身，實現(xiàn)低成本和高可靠性。*1

特征

• 風冷方式，安裝方便。

• 燈管燈長160mm

• 電源 AC100V 50/60Hz

• 瞬時開/關燈功能。

• 適合研究和開發(fā)。

應用領域

• 表面潤濕性和改性

• 光化學

• 反應性OH自由基過程

• 抗蝕劑去除

• UV O3工藝



準分子燈功能應用

1、增加表面能量和親水性

準分子輻射通過增加表面能來“激活"表面，表面能以每米毫牛頓 (mN/m) 為單位。表面能決定了流體和固體表面之間的接觸角。準分子光清洗作為其他清洗設備對表面處理的替代品，準分子的冷光極大減少了類似紅外線等產(chǎn)生的多余熱量。這種降低的熱負荷意味著不會損壞基材表面結構，從而保證更好的粘接結果為了確保附著力和均勻分布。例如在印刷和粘合等應用中，需要實現(xiàn)更小的接觸角，提高清潔度。






雖然聚合物和其他復合材料的表面輻照可能是準分子常用的用途，但這種處理也幾乎適用于任何表面。將準分子技術應用于硅晶片、金屬和玻璃時，清潔、涂層和粘合也可以得到顯著改善。




圖表展示了玻璃、礦物和聚合物類型的例子，可以使用準分子技術結合。

粘合優(yōu)勢分析：√強/極  ○弱

2、更廣泛的應用范圍

在某些情況下，可以實現(xiàn)親水化，其中整個表面變得潤濕。此時，液體的接觸角達到零度，將液滴轉化為液膜。目前，準分子燈正用于生態(tài)學、光化學、光生物學、醫(yī)學、物理學、微電子學以及包括智能制造工業(yè)在內的各種工業(yè)分支等等。



圖：銅、鋁、硅的在準分子燈照射下接觸角變化