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簡易微量金屬污染物回收裝置SC-3100介紹
SC-3100
●連接至PC以創(chuàng)建各種收集模式，并從硅晶片的表面和側(cè)面（斜角部分）收集（樣品）微量金屬污染物。
●設(shè)備安裝方便，不需要太多外部資源，不占用太多空間。
●由于工作是機械完成的，因此不需要操作員技能，任何人都可以輕松取樣。
●由于設(shè)備自動供給取樣化學品并移動支架，因此與SC-2000相比，可以減少工人造成的污染。
SC-8100
●具有即使在親水狀態(tài)的晶圓上也能收集污染物的功能，并且可以對硅以外的材料制成的晶圓或因體蝕刻等而導致表面變得粗糙的晶圓進行采樣。
●放寬了對晶圓條件和采樣化學品類型的限制，使得可以回收重金屬以外的離子。
●當然，傳統(tǒng)的疏水表面采樣也是可能的。
SC-9100
●具有即使是親水狀態(tài)的晶圓也能捕集污染物的功能，可對硅以外的材料的晶圓或因整體蝕刻等導致表面粗糙的晶圓進行取樣。
●放寬了對晶圓條件和采樣化學品類型的限制，使得可以回收重金屬以外的離子。
●當然，傳統(tǒng)的疏水表面采樣也是可能的。
●由于設(shè)備自動供給取樣化學品并移動支架，因此與SC-8100相比，可以減少工人造成的污染。
| 設(shè)備名稱 | SC-3100 | SC-8100 | SC-9100 | |||||||
| 手術(shù) | 電腦 (*3) | |||||||||
| 安裝/拆卸固定器 | 自動的 | 手動的 | 自動的 | |||||||
| 供應(yīng)取樣用化學溶液 | 自動的 | 手動的 | 自動的 | |||||||
| 化學溶液取樣采集 | 自動 (*1) | 手動的 | 自動的 | |||||||
| 基本采集模式 | 環(huán)形、扇形、固定、半徑、圓弧 | |||||||||
| 追加收集圖案(*1) | 橫向、矩形、弧形 | |||||||||
| 定向平整處理（*2） | 添加到環(huán)形、固定半徑、側(cè)面檢索模式 | |||||||||
| 抽吸式液體收集 | ○ | - | ○ | |||||||
| 親水表面的恢復 | - | ○ | ○ | |||||||
| 外部尺寸（寬x深x高）（毫米） | 630×550×600 | 600×550×700 | 630×550×790 | |||||||
| 重量 | 35公斤 | 40公斤 | 50公斤 | |||||||
| 使用地點 | 干凈的草案里面 | |||||||||
| 必要的公用事業(yè) | 電源（AC100-240V）、 純凈水、潔凈干燥空氣 | 電源（AC100-240V）、N2、潔凈干燥空氣 | 電源（AC100-240V）、N2、 純凈水、潔凈干燥空氣 | |||||||
