3B真空計(jì)(彎曲帶束)全面提高了熱陰極電離真空計(jì)的三個(gè)測量極限:“軟X射線”、“電子沖擊解吸(ESD)”和“氣體釋放”??梢詼y量高達(dá)-11Pa的壓力。
高精度離子計(jì)頭,X射線極限約為5×10?12Pa(不到傳統(tǒng)EX計(jì)的1/40),可實(shí)現(xiàn)XHV的高精度測量
有效靈敏度為 2.4??A/Pa(4mA 時(shí)) ,比傳統(tǒng)產(chǎn)品
高2.5 倍。
氣體釋放量低于傳統(tǒng)產(chǎn)品(SUS)的1/10
采用真空結(jié)構(gòu)材料0.2% BeCu
使用市售控制器可測量高達(dá) 10?11Pa
離子束從帶狀圓筒柵格的側(cè)面取出,并在240°彎曲位置捕獲。全面提高熱陰極離子計(jì)“軟X射線”、“電子刺激(ESD)”和“氣體釋放”三大測量極限的新型測量方式,可測量高達(dá)10?12Pa I的壓力。我是個(gè)孩子。
帶有鉑銥合金柵和氧化釔涂層銥絲的離子源電極嵌入超低釋氣真空結(jié)構(gòu)材料 0.2% BeCu 合金共面法蘭 (ICF070) 中,以實(shí)現(xiàn)低釋氣。
XHV(高真空)研究
XHV/UHV真空設(shè)備
XHV/UHV分析設(shè)備...等
電子能源 | 100~150eV |
絲勢 | 10~100V |
測量時(shí)燈絲加熱功率 | 1.5A×2.8V |
電子束除氣功率 | 480V×10~30mA |
電子電流 | 1~4mA(比例范圍),也可10mA |
偏轉(zhuǎn)電極電位 | 155V(電子比例范圍)、145V(10mA) |
靈敏度 | 5 ~ 7E-2Pa-1 (e比例范圍) |
X射線極限 | 5 ~ 7E-2Pa-1 (e比例范圍) |
烘烤溫度 | 最高300℃ |
法蘭材質(zhì) | 鍍NiP 0.2%BeCu合金 |
目前介紹終端 | SUS304+Koval真空端子 |
安裝法蘭 | ICF070(無氧銅墊片) |